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ICS 23.160 J 78 GD 中华人民共和国国家标准 GB/T 25753.2—2010 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第2部分:零流量压缩比的测量 Vacuum technology—Roots vacuum pump- Measurement of performance characteristics- Part 2:Measurement of compression ratio of the zero throughput 2010-12-23发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T25753.2—2010 前言 GB/T25753《真空技术罗茨真空泵性能测量方法》分为三个部分: 第1部分最大允许压差的测量; 第2部分零流量压缩比的测量; 第3部分溢流阀压差的测量。 本部分为GB/T25753的第2部分。 本部分由中国机械工业联合会提出。 本部分由全国真空技术标准化技术委员会归口。 本部分负责起草单位:浙江真空设备集团有限公司。 厂有限公司、合肥皖仪科技有限公司、沈阳真空技术研究所。 本部分主要起草人:王晓虎、许涛、范林东、王光玉、徐法俭、黄文平、王玲玲、王学智。 1 GB/T25753.22010 引言 随着基础工业的发展及设计理念的不断创新,罗茨真空泵的结构设计与工作性能均取得了长足的 进步,早期的罗茨真空泵必须依赖前级真空泵运行,而如今发展出了能够直接排大气运行的气冷式罗茨 真空泵和湿式罗茨真空泵,另外单台罗茨真空泵的级数也由单级发展成为单级、双级、多级,转子型线也 由双叶发展成为双叶、三叶、多叶。 未对溢流阀压差的测量方法作出规范,为切实提高罗茨真空泵性能测量标准的兼容性与适用性,为实际 检验测量提供必要的操作指南,在广泛借鉴国内外相关指标、标准的基础上,结合实际情况,制定《真空 技术罗茨真空泵性能测量方法》标准,并分为三个部分。极限压力及抽气速率是罗茨真空泵机组的性 能测量项目,不是本标准的内容。今后将依据技术发展的状况进行必要的修改与扩充, Ⅱ GB/T 25753.2—2010 真空技术罗茨真空泵性能测量方法 第2部分:零流量压缩比的测量 1范围 GB/T25753的本部分规定了罗茨真空泵零流量压缩比的测量方法。 本部分适用于抽速为30L/s~20000L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过GB/T25753的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文 件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分,然而,鼓励根据本部分达成 协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本 部分。 GB/T25753.1一2010真空技术罗茨真空泵性能测量方法第1部分最大允许压差的测量 3术语和定义 下列术语和定义适用于GB/T25753的本部分。 3. 1 零流量压缩比 compression ratio of the zero throughput 零流量压缩比K。就是关闭罗茨真空泵的进气阀,气体流量为零时,泵的出口压力与入口压力之 比。该压缩比的最大值称为零流量最大压缩比,用Ko.max表示。 3.2 测试罩testdome 具有精确规定形状和尺寸的专用真空容器,被测量的气体通过它进人泵内,其上装有压力测量 装置。 4装置 见GB/T25753.1—2010第3章。 5试验方法 5.1原理 关闭罗茨真空泵的进气阀,然后在前级真空侧用合适的方式(如充气)调节不同的压力。 在测量时允许采用充气并辅以调节前级泵的抽速的方法对出口压力进行调节。 5.2程序 首先按GB/T25753.1一2010中图3连接测试罩、压力计、进气阀、前级管路及前级泵,关闭进气阀 A及进气阀B,在泵达到极限压力并且温度达到平衡之后,通过调节前级管路测试罩上的进气阀B引人 干燥气体,放人不同的气体量,测试罩B内就形成不同的压力。在压力达到平衡之后,分别用压力计测 量测试罩A和测试罩B内的压力,即可得到一系列零流量压缩比K。值,该系列压缩比的最大值即为 零流量最大压缩比。 1 GB/T25753.2—2010 当在15min内两次连续测量压力读数的变化不大于5%时,测量才有效。 测量时需要保证泵出口与人口的压力差不超过泵的最大允许压差。 对于带溢流阀的罗茨真空泵,测量时不需要把溢流阀锁死。 对于气冷式罗茨真空泵,测量时需要把返冷气口关闭 6 试验结果 出口压力和零流量压缩比之间的关系应用曲线图表示。用对数横坐标表示出口压力,其范围从极 限压力到大气压力或适合泵结构的其他压力范围,线性纵坐标表示零流量压缩比 试验报告 除试验结果的记录内容外,试验报告应至少包括下列内容: 所用测量仪器的类型、精度等级和工作条件; a) b) 在泵入口法兰上使用的密封型式; c) 测试罩尺寸和法兰种类; (P 冷却水温度及流量; e) 泵的转速及在试验时的变化范围; f) 环境温度和压力; g) 如果试验气体非空气,则须标明气体种类。 2
GB-T 25753.2-2010 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第2部分:零流量压缩比的测量
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