ICS 77. 120. 99 H 68 中华人民共和国国家标准 GB/T 26307-2010 银 靶 Silver target 2011-01-14 发布 2011-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 26307—2010 前言 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人：闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。 GB/T 26307—2010 银 靶 1 范围 本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或 合同)内容。 本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材（以下简称银靶）。其他用途的靶材也可参照使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T4135银 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T11067钅 银化学分析方法 GB/T 15077量 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 3要求 3.1产品分类 银靶的类型按化学成分为IC-Ag99.99-种。 银靶的形状和尺寸主要由设备基台确定，外形主要为圆形、矩形和异型。 3.2化学成分 银靶IC-Ag99.99的化学成分应符合GB/T4135的规定。需方对某种特定杂质元素含量有要求 的，由供需双方协商确认。 3.3晶粒度 银靶的横向平均晶粒度应在50μm~150μm。 3.4外观质量 银靶表面应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷；无润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污；应清洁光滑，无 指痕,无油污和锈蚀。 3.5表面粗糙度 银靶表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。 3.6几何尺寸 3.6.1圆形银靶的直径Φ主要有：25mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm，厚度通常为 3 mm~35 mm. 1