(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221143835.9 (22)申请日 2022.05.13 (73)专利权人 四川明泰微电子科技股份有限公 司 地址 629099 四川省遂宁市经济开发区德 泉路微电子 工业园 (72)发明人 李蛇宏　杨益东　 (74)专利代理 机构 成都诚中致达专利代理有限 公司 51280 专利代理师 曹宇杰 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B26D 1/16(2006.01) B26D 7/26(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆贴膜装置 (57)摘要 一种晶圆贴膜装置， 包括装置壳体部和设于 装置壳体部上的薄膜分切部， 薄膜分切部包括转 动座和一组刀杆， 刀杆相对一端位于转动座内， 向背一端设有安装座， 安装座上分别转动设有刀 片和压轮， 转动座内转动设有齿轮， 一组刀杆分 别位于齿轮两侧且平行设置， 刀杆相对齿轮的一 侧设有齿条， 齿条与齿轮啮合配合， 齿轮下端设 有调节件， 用于调节两刀片之间的距离和锁定两 刀杆之间的相对位置， 刀杆设为两段， 两刀杆的 相对一端设有齿条， 安装刀杆的旋转轴内设有齿 轮， 齿条与齿轮啮合配合， 可调节两刀杆之间的 尺寸， 从而满足多种尺寸的晶圆的多余薄膜切 除。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217588860 U 2022.10.14 CN 217588860 U 1.一种晶圆贴膜装置， 包括装置壳体部 （1） 和设于装置壳体部 （1） 上的薄膜分切部 （2） ， 薄膜分切部 （2） 包括转动座 （22） 和一组刀杆 （23） ， 刀杆 （23） 相对一端位于转动座 （22） 内， 一 组刀杆 （23） 相 背的一端设有安装座， 安装座上分别转动设有刀片 （25） 和压轮 （24） ， 其特征 在于： 转动座 （22） 内转动设有齿轮 （222） ， 一组刀杆 （23） 分别 位于齿轮 （222） 两侧 且平行设 置， 刀杆 （23） 相对齿轮 （222） 的一侧设有齿条， 齿条与齿轮 （222） 啮合配合， 齿轮 （222） 下端 设有调节件 （26） ， 用于调节两刀片 （25） 之间的距离和锁定 两刀杆 （23） 之间的相对位置 。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置， 其特征在于， 调节件 （26） 包括调节钮 （261） 和设于调节钮 （261） 上的锁紧螺母 （262） ， 调节钮 （261） 一端连接齿轮 （2 22） 下端面。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置， 其特征在于， 压轮 （24） 的宽度大于刀片 （25） 的宽度。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置， 其特征在于， 压轮 （24） 设于刀片 （25） 后 侧。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置， 其特 征在于， 压轮 （24） 采用塑性材 料。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置， 其特征在于， 壳体部 （1） 包括下壳体 （11） 和上壳体 （12） ， 下壳体 （11） 的一边与上壳体 （12） 的一边转动 连接， 下壳体 （11） 上铰接液压 缸 （3） 外壳体， 液压缸 （3） 的活动端转动连接上壳体 （12） 。 7.根据权利要求6所述的一种晶圆贴膜装置， 其特征在于， 下壳体 （11） 上设有与刀片 （25） 运动轨 迹对应的凹槽 （13） 。 8.根据权利要求6所述的一种晶圆贴膜装置， 其特征在于， 上壳体 （12） 上设有环形导向 槽， 导向槽内滑动设有限位扣 （27） ， 刀杆 （23） 穿设于限位扣 （27） 内。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217588860 U 2一种晶圆贴膜装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于贴膜设备 领域， 尤其涉及一种晶圆贴膜装置 。 背景技术 [0002]晶圆是制作半导体电器元件的基础原材料， 晶圆加工工艺流程中， 需要对其表面 进行贴膜处理， 传统的贴膜装置， 贴膜后需要人工沿晶圆外周切去多余薄膜材料， 造成贴膜 速度慢， 工作效率低； 两分切刀片之间的间距不可调整， 无法满足多尺寸晶圆薄膜分切， 另 外切割处出现薄膜与晶圆脱离的情况， 需要工人借助工具将切割处脱离的薄膜再次贴敷在 晶圆上， 生产效率低， 因此有 待改进。 实用新型内容 [0003]为解决上述现有技术不足， 本实用新型提供一种晶圆贴膜装置， 刀杆 间距可调节， 使其可适 合多种尺寸的 晶圆。 [0004]为了实现本实用新型的目的， 拟采用以下 方案： [0005]一种晶圆贴膜装置， 包括装置壳体部和 设于装置壳体部上的薄膜分切部， 薄膜分 切部包括转动座和一组刀杆， 刀杆相对一端位于转动座内， 向背一端设有安装座， 安装座上 分别转动设有刀片和压轮， 转动座内转动设有齿轮， 一组刀杆分别位于齿轮两侧且平行设 置， 刀杆相对齿轮的一侧设有齿条， 齿条与齿轮啮合配合， 齿轮下端设有调节件， 用于调节 两刀片之间的距离和锁定 两刀杆之间的相对位置 。 [0006]进一步的， 调节件包括调节钮和设于调节钮上的锁紧螺母， 调节钮一端连接齿轮 下端面。 [0007]进一步的， 压轮的宽度大于刀片的宽度。 [0008]进一步的， 压轮设于刀片后侧。 [0009]进一步的， 压轮采用塑性材 料。 [0010]进一步的， 壳体部包括下壳体和上壳体， 下壳体的一边与上壳体的一边转动连接， 下壳体上铰接液压缸外壳体， 液压缸的活动端转动连接上壳体。 [0011]进一步的， 下壳体上设有与刀片运动轨 迹对应的凹槽 。 [0012]进一步的， 上壳体上设有环形导向槽， 导向槽内滑动设有限位扣， 刀杆穿设于限位 扣内。 [0013]本实用新型的有益效果在于： [0014]刀杆设为两段， 两刀杆的相对一端设有齿条， 安装刀杆的旋转轴内设有齿轮， 齿条 与齿轮啮合配合， 可调节两刀杆之间的尺寸， 从而满足多种尺寸的 晶圆的多余薄膜切除。 附图说明 [0015]本文描述的附图只是为了说明所选实施例， 而不是所有可能的实施方案， 更不是 意图限制本实用新型的范围。说　明　书 1/3 页 3 CN 217588860 U 3