(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210948314.9 (22)申请日 2022.08.09 (71)申请人 康单 地址 250000 山东省济南市经八 路1号山东 中医药大学第二附属医院 (72)发明人 康单　 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种超声波清洗机 (57)摘要 本发明公开了一种超声波清洗机， 包括放置 于地面上方的机体， 所述机体的上端内侧安装有 清洗槽， 且所述清洗槽的内侧设置有提篮， 并且 所述清洗槽的底部安装有超声波换能器； 还包 括： 支架， 固定安装于所述提篮的内侧底部， 用来 实现对晶圆的承托、 放置； 安装板， 固定安装于所 述提篮的上端， 所述安装板的上表 面螺栓固定安 装有第一电机； 集液仓， 开设于所述机体的下端 内部， 用来实现废液的回收， 所述集液仓的内壁 轴连接有凸轮， 且所述集液仓的内侧活动设置有 滤板。 该超声波清洗机可以对多组晶圆进行竖向 放置清洗， 且 可以在清洗过程中对晶圆位置进行 自动调节， 使得晶圆可以进行全方位有效清洗， 同时可以对清洗后的废水进行过滤回 收， 环保性 强。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 115350980 A 2022.11.18 CN 115350980 A 1.一种超声波清洗机， 包括放置于地面上方的机体 （1） ， 所述机体 （1） 的上端内侧安装 有清洗槽 （2） ， 且所述清洗槽 （2） 的内侧设置有提篮 （201） ， 并且所述清洗槽 （2） 的底部安装 有超声波换能器 （3） ； 其特征在于， 还 包括： 支架 （4） ， 固定安装于所述 提篮 （201） 的内侧底部， 用来实现对晶圆的承托、 放置； 安装板 （6） ， 固定安装于所述提篮 （201） 的上端， 所述安装板 （6） 的上表面螺栓固定安装 有第一电机 （7） ， 且所述第一电机 （7） 的输出端固定安装有轴杆 （8） ； 排液口 （10） ， 开设于所述清洗 槽 （2） 的下表面， 用来实现对污水的快速排 放； 套筒 （11） ， 固定安装于所述 提篮 （201） 的上端外侧； 第二电机 （12） ， 固定安装于所述清洗槽 （2） 的下方， 所述第二电机 （12） 的输出端固定安 装有螺纹杆 （13） ； 集液仓 （14） ， 开设于所述机体 （1） 的下端内部， 用来实现废液的回收， 所述集液仓 （14） 的内壁轴连接有凸轮 （15） ， 且所述 集液仓 （14） 的内侧活动设置有滤板 （16） ； 杂物仓 （17） ， 呈空腔状设置于所述机体 （1） 的外壁内凹处， 用来实现对滤出杂质的存 放、 收集， 所述杂物仓 （17） 的外侧铰接有盖板 （18） ， 且 所述杂物仓 （17） 与集液仓 （14） 之间开 设有排料口 （170 3） ； 输液泵 （19） ， 设置 于所述机体 （1） 的下端内侧， 并与集液仓 （14） 管道连接； 连通管 （20） ， 固定安装于所述 提篮 （201） 的上端外侧， 用来实现清洗液的输送。 2.根据权利要求1所述的一种超声波清洗机， 其特征在于： 多个所述支架(4)围绕提篮 (201)的中轴线水平周向等角度固定安装于所述提篮(201)的底部内侧， 且每个所述支架 （4） 的上端均对称固定安装有两个托架 （401） ， 并且所述托架 （401） 呈弧形结构设置， 同时所 述托架 （401） 与晶圆间隙配合。 3.根据权利要求1所述的一种超声波清洗机， 其特征在于： 所述支架 （4） 的外侧轴连接 有防滑滚轮 （402） ， 且所述防滑滚轮 （402） 的上表面与晶圆的下端相贴合。 4.根据权利 要求3所述的一种超声波清洗机， 其特征在于： 多个所述防滑滚轮(402)  围 绕提篮(201)的中轴线水平周向等角度设置， 且相 邻所述防滑滚轮 （402） 的轴端之间连接有 第一传动锥齿组件 （5） ， 并且其中一组所述防滑滚轮 （402） 的一侧轴端与轴杆 （8） 之间连接 有第二传动锥齿组件 （9） 。 5.根据权利要求1所述的一种超声波清洗机， 其特征在于： 所述排液口 （10） 采用电磁阀 门控制， 且所述排液口 （10） 与集液仓 （14） 相连通， 并且所述排液口 （10） 与滤板 （16） 的位置 相对应。 6.根据权利要求1所述的一种超声波清洗机， 其特征在于： 所述套筒 （11） 对称固定安装 于所述提篮 （201） 的上端外侧， 且所述套筒 （11） 与螺纹杆 （13） 螺纹连接， 并且所述提篮 （201） 与清洗 槽 （2） 构成升降结构。 7.根据权利要求1所述的一种超声波清洗机， 其特征在于： 所述凸轮 （15） 的轴 端外侧缠 绕有牵引绳 （1501） ， 且 所述凸轮 （15） 与机体 （1） 之间连接有 扭力弹簧 （1502） ， 并且所述凸轮 （15） 与滤板 （16） 的位置相对应， 同时所述滤板 （16） 呈锥形结构， 而且所述滤板 （16） 的下端 贯穿于排料口 （1703） ， 且 所述滤板 （16） 的边缘下表面与排料口 （1703） 的内壁之间连接有复 位弹簧 （16 01） 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115350980 A 28.根据权利要求1所述的一种超声波清洗机， 其特征在于： 所述杂物仓 （17） 呈环形结构 设置， 且所述杂物仓 （17） 与集液仓 （14） 之间开设有通孔 （1701） ， 并且所述通孔 （1701） 的内 侧安装有滤网 （1702） ， 而且所述 通孔 （1701） 位于排料口 （170 3） 的下方。 9.根据权利要求1所述的一种超声波清洗机， 其特征在于： 所述连通管 （20） 呈环形结构 设置， 且所述连通管 （20） 与输液泵 （19） 之间连接有输液软管 （21） ， 并且所述连通管 （20） 的 外侧均匀设置有喷头 （2 2） ， 而且所述喷头 （2 2） 的喷口均朝向晶圆的两侧。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115350980 A 3