(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221368983.0 (22)申请日 2022.06.02 (73)专利权人 天祥电气集团有限公司 地址 225600 江苏省扬州市高邮市 郭集镇 工业集中区 (72)发明人 王立祥　阮同琴　 (74)专利代理 机构 淮安欧巴知识产权代理事务 所(普通合伙) 32628 专利代理师 安琼新 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 5/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种便于清洁的半导体 (57)摘要 本实用新型属于 半导体设备技术领域， 尤其 为一种便于清洁的半导体， 包括外壳， 外壳的内 侧活动连接有传动杆， 传动杆的外部固定连接有 转动块， 外壳的内侧活动连接有连动杆， 连动杆 的外侧固定连接有挡杆， 连动杆的外侧固定连接 有平板， 外壳的内侧活动连接有转轴， 转轴的外 部固定连接有短杆， 短杆的外部活动连接有长 杆， 长杆的外部活动连接有滑块。 本实用新型通 过外壳、 传动杆、 转动块、 连动杆、 挡杆、 平板、 转 轴、 短杆、 长杆、 滑块， 可以使得在 清理半导体时， 使得半导体表 面的液体被出风口的风吹散， 同时 将流动到半导体边缘的液体去除， 这样能快速的 清理半导体表 面的液体， 并防止液体流动至边缘 位置未被去除的情况 出现。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217342441 U 2022.09.02 CN 217342441 U 1.一种便于清洁的半导体， 包括外壳(1)， 其特征在于： 所述外壳(1)的内侧活动连接有 传动杆(2)， 所述传动杆(2)的外部固定连接有转动块(3)， 所述外壳(1)的内侧活动连接有 连动杆(4)， 所述连动杆(4)的外侧固定连接有挡杆(5)， 所述连动杆(4)的外侧固定连接有 平板(6)， 所述外壳(1)的内侧活动连接有转轴(7 )， 所述转轴(7 )的外部固定连接有短杆 (8)， 所述短杆(8)的外 部活动连接有长杆(9)， 所述长杆(9)的外 部活动连接有滑块(10)。 2.根据权利要求1所述的一种便于清洁的半导体， 其特征在于： 所述传动杆(2)的外部 固定连接有驱动电源， 所述驱动电源固定连接在外壳(1)的内侧， 所述转动块(3)有两个且 两个转动块(3)都活动连接在 传动杆(2)的外 部。 3.根据权利要求1所述的一种便于清洁的半导体， 其特征在于： 所述连动杆(4)的表面 开始有滑槽， 所述传动杆(2)活动连接在滑槽的内侧， 所述连动杆(4)的外部对称分布有两 个挡杆(5)， 所述挡杆(5)的规格尺寸和转动块(3)的相匹配。 4.根据权利要求1所述的一种便于清洁的半导体， 其特征在于： 所述平板(6)的规格尺 寸和外壳(1)的相匹配， 所述平板(6)的表面开设有出风口， 所述出风口通过管道和风机进 行连接， 所述平板(6)的规格尺寸和连动杆(4)的相匹配。 5.根据权利要求1所述的一种便于清洁的半导体， 其特征在于： 所述转轴(7)的外部固 定连接有电机， 所述电机固定连接在外壳(1)的内侧， 所述外壳(1)的内侧设置有滑道， 所述 滑块(10)滑动连接在滑 道的内侧， 所述滑块(10)的外侧设置有刮板 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217342441 U 2一种便于 清洁的半导体 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体设备技 术领域， 具体为 一种便于清洁的半导体。 背景技术 [0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料， 半导体在消费电子、 通 信系统、 医疗仪器等领域有广泛应用， 如二极管就是采用半导体制作的器件， 无论从科技或 是经济发展的角度来看， 半导体的重要性 都是非常巨大的， 今日大部 分的电子产品， 如计算 机、 移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连， 常见 的半 导体材料有硅、 锗、 砷化镓等， 而硅更是各种半导体材料中， 在商业应用上最具有影响力的 一种。 [0003]现有技术存在以下问题： [0004]1、 半导体在刻蚀完成后需要对其表面进行清洁， 现有的清洁方式多为自然风干， 耗时长， 效率低； [0005]2、 在清洁半导体表面时， 表面液体容易向四处分散， 且液体容易流动挤压至边缘 位置， 无法完整地去除。 实用新型内容 [0006]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种便于清洁的半导体， 解决了现今存 在的半导体在蚀刻后， 在其表面清洁通常采用自然风干的方式， 效率不高， 而在清洁时， 液 体有可能流动到半导体结构的边 缘位置， 无法完整的去除的问题。 [0007]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种便于清洁的半导体， 包括外 壳， 所述外壳的内侧活动连接有传动杆， 所述传动杆的外部固定连接有转动块， 所述外壳的 内侧活动连接有连动杆， 所述连动杆的外侧固定连接有挡杆， 所述连动杆的外侧固定连接 有平板， 所述外壳的内侧活动连接有转轴， 所述转轴的外部固定连接有短杆， 所述短杆的外 部活动连接有长杆， 所述长杆的外 部活动连接有滑块。 [0008]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述传动杆的外部固定连接有驱动电源， 所述驱动电源固定连接在外壳的内侧， 所述转动块有两个且两个转动块 都活动连接在传动 杆的外部。 [0009]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述连动杆的表面开始有滑槽， 所述传动 杆活动连接在滑槽的内侧， 所述连动杆 的外部对称分布有两个挡杆， 所述挡杆的规格尺寸 和转动块的相匹配。 [0010]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述平板 的规格尺寸和外壳的相匹配， 所 述平板的表面开设有出风口， 所述出风口通过管道和 风机进行连接， 所述平板的规格尺寸 和连动杆的相匹配。 [0011]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述转轴的外部固定连接有电机， 所述电 机固定连接在外壳的内侧， 所述外壳的内侧设置有滑道， 所述滑块滑动连接在滑道的内侧，说　明　书 1/3 页 3 CN 217342441 U 3